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H80 半金属与半导体材料综合

收录 59 项
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标准号标准名称状态发布日期 实施日期
YS/T 1825-2025集成电路用四甲基硅烷现行2025-12-172026-07-01
YS/T 28-2024硅片包装和标志现行2024-10-242025-05-01
T/QGCML 4572-2024高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范现行2024-08-122024-08-27
T/QGCML 4573-2024高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范现行2024-08-122024-08-27
T/SHXCL 0021-2024温差电致冷组件用晶棒现行2024-06-282024-07-30
GB/T 14264-2024半导体材料术语现行2024-04-252024-11-01
GB/T 43612-2023碳化硅晶体材料缺陷图谱现行2023-12-282024-07-01
GB/T 29057-2023用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程现行2023-08-062024-03-01
T/CASAS 025-20238英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸现行2023-06-192023-06-19
T/CASAS 032-2023碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法现行2023-06-192023-06-19
T/CASAS 026-2023碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法现行2023-06-192023-06-19
T/IAWBS 001-2021碳化硅单晶现行2021-09-162021-09-23
T/IAWBS 004-2021电动汽车用功率半导体模块可靠性试验通用要求及试验方法现行2021-09-162021-09-23
T/IAWBS 015-2021氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法现行2021-09-152021-09-22
T/ZSA 38-2020SiC晶片的残余应力检测方法现行2020-12-172020-12-18
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-272019-12-31
GB/T 16596-2019确定晶片坐标系规范现行2019-03-252020-02-01
GB/T 16595-2019晶片通用网格规范现行2019-03-252020-02-01
GB/T 14844-2018半导体材料牌号表示方法现行2018-12-282019-11-01
GB/T 8756-2018锗晶体缺陷图谱现行2018-12-282019-07-01

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