29.045 半导体材料

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
YS/T 543-2015	半导体键合用铝-硅细丝	已废止	2015-04-30	2015-10-01
YS/T 28-2015	硅片包装	已废止	2015-04-30	2015-10-01
YS/T 13-2015	高纯四氯化锗	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11488-2015	半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11489-2015	低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11490-2015	低位错密度砷化镓拋光片蚀坑密度的测量方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11487-2015	半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11495-2015	硅中间隙氧的转换因子指南	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11493-2015	硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法	已废止	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11492-2015	光致发光法测定磷镓砷晶片的组分	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11494-2015	硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11491-2015	短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11498-2015	重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11500-2015	碳化硅单晶晶向的测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11499-2015	碳化硅单晶电学性能的测试方法	已废止	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11497-2015	砷化镓晶片热稳定性的试验方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11496-2015	红外吸收法测量砷化镓中硼含量	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11505-2015	蓝宝石单晶抛光片规范	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11504-2015	碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11503-2015	碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01